2024-09-26
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真空計是用于探測真空系統中氣體壓力的儀器，它廣泛應用于半導體制造、光伏、科研實驗等領域。在這些應用中，不同種類的真空計用于測量不同的真空水平，以確保系統內的氣體壓力保持在指定的范圍內。理解真空計的工作原理和選擇適合的真空計對精確控制工藝至關重要，特別是在半導體制造中，許多關鍵工藝需要在特定的真空條件下進行，如蝕刻、沉積等。 一、真空的概念與分類 在進入真空計的具體工作原理之前，我們首先需要理解什么是“真空”。真空是指低于大氣壓的氣體狀態，氣體分子的數量和能量都較低。根據真空度的不同，我們可以將
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