2025-01-15
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邊緣芯片(edge die)是指位于晶圓邊緣區域的芯片,由于晶圓制造過程中的掩模對準誤差或晶圓切割等原因,這些芯片可能在設計上存在缺陷或尺寸不完整。以下是對邊緣芯片的詳細解釋: 1. 邊緣芯片的形成原因 晶圓制造過程中,光刻、沉積、刻蝕等工藝的作用通常會集中在晶圓的中心區域,因為這些區域的對準精度更高、工藝條件更穩定。晶圓的邊緣區域由于距離工藝設備的對準基準較遠,受光學衍射效應、機械應力、溫度等因素的影響較大,導致邊緣部分的芯片質量往往較差。特別是在晶圓切割時,由于晶圓機械力不均勻,邊緣部分容
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